X*Y*Z轴行程：100*100*100mm
工作台承重：5kg
X/Y/Z轴的检测精度：0.25u
接触测量：MPE(um)0.25+1nm
投影测量：MPE0.3uz
分辨率：0.001um
探针力：0.5N/um
反射光：LED
