X轴行程：100mm

Y轴行程：100mm

Z轴行程：100mm

最大工件重量：5kg

解析度：

陶瓷玻璃比例尺（X，Y和Z轴）：0.25um 

触碰式传感器系统：MPE（um）0 25+llmm）/ 666）

光学传感器系统：MPE：0.3um和MPE：0.7um

触碰式传感器系统：

硅笔座动力学分辨率：0.001um

探针力：0.5N / um

光学传感器系统：

基于ViSCAN放大倍率的CCD摄像头：10X 

反射光：LED环（绿色575nm）

透射光：白色