数控系统： MicroSens
可旋转角度： ±90°
加工半径： 75 mm
工件（主轴）转速： 0-2000 RPM
工具（主轴）转速： 1500 ~ 15000 RPM
主轴径向（工件夹持方向）调节行程： 约 ±5 mm
主轴轴向（工件长度方向）进给行程： 约 20 ～ 50 mm
超精研石（加工工具）径向进给行程： ≤ 1 mm
超精研石的摆动行程： 约 5 ～ 15 mm
夹具调整行程： 工件夹具的径向定位调整行程约 ±10 mm
轴向定位行程： 30 ～ 100 mm
表面粗糙度（Ra）： ≤ 0.03 微米
球面垫片
圆度： 2.0 微米
表面粗糙度（Ra）： ≤ 0.03 微米