三轴行程:1000x700x700mm空间长度测量精度MPE_E:≤2.5+L/300μm 单点探测精度MPE_P:≤2.0μm 最大移动速度:300mm/s 最大加速度:400mm/s² 最大工件承载:800kg工作台尺寸:1200x900mm