技术参数

1．测量范围：X轴 800 mm，Y轴 1000 mm， Z轴 600 mm

2．结构型式：活动桥式，三轴均采用精密气浮式导轨

3．传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承

4．光栅系统：开放式光栅尺，分辨率0.078μm

5．机    台：高精度花岗岩平台

6．机台承重： 300 kg

7．整机重量： 730 kg

8．整机尺寸(LWH)： 1150 mm X 1735 m m X 2630 mm

9．使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65%

10．空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

11．空气流量：120 L/min